Pulvérisation sous vide

pistes d’électrons et de sillons

pistes d’électrons et de sillons

Opera conjugue analyse par éléments finis de précision à des modèles détaillés pour plasma, pulvérisation et dépôt de couches pour fournir les premiers outils pratiques pour la conception et l’optimisation de magnétrons.

Pour la première fois, les concepteurs de dispositifs de couchage à magnétrons et par pulvérisation sous vide disposent d’un outil de simulation de conception efficace. Dans de nombreux domaines de conception d’ingénierie et de produit, ces outils se sont révélés utiles pour améliorer les performances, réduire les coûts/les délais de développement et contribuer à l’innovation afin de fournir un avantage concurrentiel.

Opera pourra servir à prévoir l’érosion ciblée et à optimiser l’utilisation. Il peut caractériser avec précision la conception de systèmes à aimants, y compris les dispositifs de couchage multicibles, et prévoir des profils de couches déposées ainsi que la dynamique des dépositions.

Fonctionnalités de conception

dispositif de couchage à aimants multiples

dispositif de couchage à aimants multiples

  • Optimisation et conception de magnétrons c.c.
  • Conception d’un réseau d’aimants
  • Dispositifs de couchage à cible(s) unique et multiples
  • Configurations équilibrées et déséquilibrées
  • Utilisation et profile d’érosion ciblée
  • Taux de dépôt
  • Chargement thermique/montée de température

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