Pulvérisations sous vide par magnétron

Le revêtement par pulvérisation sous vide est considérablement utilisé pour la fabrication de couches minces dans une grande variété d’applications, des revêtements décoratifs et à faible émissivité sur verre, aux revêtements techniques sur produits utilisés dans les applications les plus exigeantes d’aujourd’hui. L’optimisation des propriétés des couches déposées et l’utilisation de la cible de pulvérisation sont indispensables pour les performances du produit final et pour le caractère économique du processus. Opera conjugue analyse par éléments finis de précision à des modèles détaillés pour plasma, pulvérisation et dépôt de couches pour fournir les premiers outils pratiques pour la conception et l’optimisation de magnétrons.

Pour la première fois, les concepteurs de dispositifs de couchage à magnétrons et par pulvérisation sous vide disposent d’un outil de simulation de conception efficace. Dans de nombreux domaines de conception d’ingénierie et de produit, ces outils se sont révélés utiles pour améliorer les performances, réduire les coûts/les délais de développement et contribuer à l’innovation afin de fournir un avantage concurrentiel.

Profil de dépôt par pulvérisation sous vide

Profil de dépôt par pulvérisation sous vide

On relève parmi les fonctions de simulation d’Opera d’une importance particulière pour les concepteurs de magnétrons, ce qui suit :
• Conception et évaluation complètes de système en 3D à l’aide de simulation par éléments finis de pointe
• Calculs de champ magnétique lors de la simulation
• Inclusion de champs parasites de magnétrons adjacents dans un environnement à revêtement multimagnétrons
• Modélisation autocohérente de particules chargées, comprenant des effets relativistes et de charge d’espace
• Évaluation rapide des variantes de conception
• Optimisation à objectifs et variables multiples

Profil mesuré vs simulation, avec l’aimable autorisation de Miba Coating Group, Teer Coatings Ltd Droitwich, UK

Profil mesuré vs simulation, avec l’aimable autorisation de Miba Coating Group, Teer Coatings Ltd Droitwich, UK

Avec Opera, le concepteur peut prévoir et optimiser ce qui suit :
• Profils de sillons d’érosion
• Utilisation de cibles
• Profils de revêtements de substrats
• Dynamique des revêtements : pour caractéristiques et qualité

 Graphique de simulation vs profil mesuré, avec l’aimable autorisation de Miba Coating Group, Teer Coatings Ltd Droitwich, UK

Graphique de simulation vs profil mesuré, avec l’aimable autorisation de Miba Coating Group, Teer Coatings Ltd Droitwich, UK

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