電子顕微鏡

Operaの柔軟な有限要素メッシュのアルゴリズムによって、ナノサイズのフィールドエミッタから多数のレンズで構成される完全モデルまでのシステム設計を高い精度で支援します。

Operaは、複合フィールドシステムでのデバイスを解析できます。
-電場と磁場の両方を計算で使用
Operaの空間電荷モジュールでは、以下の構成要素を全てシミュレーションできます。
-ビームの生成
-ビームの集束
-ビームの輸送

走査型熱電子顕微鏡のような設計では、Operaの静電磁場解析モジュールで磁気レンズの設計を支援し、また、荷電粒子ソルバーによってビーム軌道を解析します。それらは、さまざなパラメータのもとで、レンズの寸法と位置、ウエーネルト位置、バイアス電圧、開口位置の設計を支援します。

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