スパッタリング

groove and electron tracks

groove and electron tracks

Operaは、プラズマ、スパッタリング、薄膜蒸着の詳細モデルに高精度な有限要素法解析を適用させ、マグネトロン設計と最適化を行う初めての実用的ツールを提供します。多くのエンジニアリングや製品設計分野で、このツールは、性能の向上、コスト削減、開発期間の短縮を実現し、技術革新を促進し、競争力をつけます。

Operaは、ターゲットエロージョンを予測し、使用率の最適化を行うことができます。マルチコーターを含むマグネットシステム設計の特性を正確に計算し、薄膜蒸着のプロファイルや蒸着過程を予測します。

設計機能

multi magnet coater

multi magnet coater

  • DCマグネトロン設計と最適化
  • マグネットアレイ設計
  • シングル、マルチコーター
  • バランス、アンバランス構成
  • ターゲットエロージョンプロファイルと使用率
  • 蒸着率
  • 温度上昇と熱負荷
Operaの詳細については、お問い合わせください