荷電粒子解析モジュール

Multispecies tracking in combined fields

Multispecies tracking in combined fields

荷電粒子解析モジュールは、静電場、静磁場中の荷電粒子の相互作用を計算します。有限要素法を使用し、離散化モデルで定常状態でのMaxwell方程式を解き、空間電荷、自己磁場、相対論を含む一貫した解析を行います。

包括的なエミッタモデルが提供され、面からの熱エミッション、フィールドエミッション、また、面やガス中(ガス電離のモデリング)での2次エミッション、磁化/非磁化プラズマモデルを定義できます。複数の荷電粒子解析が可能で、それぞれ電荷、質量をユーザで指定できます。

解析によって起こりうる誘電体のチャージとその影響は、誘電損失解析モジュールを使ってモデル化することができます。荷電粒子解析モジュールは、マルチフィジックス解析として使用することができ、荷電粒子ビームによる熱の発生と応力計算で変形を計算できます。

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Beam heating

Beam heating

アプリケーション

  • X線管
  • ビーム収束
  • 電子銃
  • マイクロ波管の収束(DC)
  • マイクロ波管のコレクター(DC)
  • イオンビーム源
  • プラズマデバイス
  • 薄膜PVDコーティング
  • 薄膜エッチング
  • イオンスラスタ
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